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RWSE-單臂晶圓機器人

  • RWSE-單臂晶圓機器人
商品圖像
  • 商品資訊

    特徵

    • 具軟硬體垂直整合優勢,採用高精密、高剛性之直驅馬達,重複精度可達到±0.1mm。且迴轉半徑小,大幅提升空間使用率。支援非徑向取放功能,末端可再選配馬達驅動之模組實現翻轉功能。

    應用

    • 適用於半導體產業(晶圓取放)、光電產業(小型面板、小型太陽能板)、LED產業(藍寶石基板、膠環)等取放設備。
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