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EFEM340-D08 晶圓移載系統

  • EFEM340-D08 晶圓移載系統
商品圖像

  • 商品資訊

    • 高速長行程12”標準機型
    • 光柵設計提升安全性，智慧廠房最佳選擇
    • 符合國際半導體設備SEMI S2安全規範
    • 料件符合RoHS規範，潔淨度最高可達ISO Class 1
    • 多種感測器偵測各項元件，即時監測設備狀態
    • GUI介面軟體，可遠端操作指令，整合各裝置子系統，提供單一指令格式窗口

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