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EFEM320-D06 晶圓移載系統

  • EFEM320-D06 晶圓移載系統
商品圖像

  • 商品資訊

    • 12"Wafer , 12" Metal Carrier 標準機型
    • 上方盤面式電控箱設計，一對二最佳選擇
    • 通過國際半導體設備SEMI S2安全認證
    • 料件符合RoHS規範，潔淨度最高可達ISO Class 1
    • 多種感測器偵測各項元件，即時監測設備狀態
    • 即時影像監控，條碼、標籤字元辨識，完整追蹤生產過程
    • 提供客製化晶圓或其他機板搬運需求

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