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EFEM320-D03 晶圓移載系統

  • EFEM320-D03 晶圓移載系統
商品圖像

  • 商品資訊

    • 8" , 12" 標準機型
    • 隱藏式電控箱、尋邊器設計，銜接窗口最大化
    • 通過國際半導體設備SEMI S2安全認證
    • 料件符合RoHS規範，潔淨度最高可達ISO Class 1
    • 多種感測器偵測各項元件，即時監測設備狀態
    • 提供客製化晶圓或其他機板搬運需求
    • 自動壓力控制系統，透過環境壓力變化，調節風扇轉速保持設定值

  • 商品Q&A

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