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EFEM320-D02 晶圓移載系統
商品圖像
商品資訊
8" , 12" 標準機型
盤面式電控箱設計
通過國際半導體設備SEMI S2安全認證
料件符合RoHS規範,潔淨度最高可達ISO Class 1
多種感測器偵測各項元件,即時監測設備狀態
即時影像監控,條碼、標籤字元辨識,完整追蹤生產過程
提供客製化晶圓或其他機板搬運需求
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