真空軸承應用 SL2 滑軌
總部位於法國的 Riber 是全球領先的分子束外延 (MBE) 設備供應商，該設備用於半導體製造中的晶體沉積。
Riber 生產機器系列的新發展使他們創建了一種線性佈置，用於拾取晶圓支撐件並將其裝載到真空室內。該系統是基於安裝在旋轉臂末端的線性導向系統的組合而構建的。
電子設備生產中使用的 MBE 工藝需要將矽晶圓精確定位在高真空室內。
就其本身而言，這個過程凸顯了運動準確性和平穩性方面的許多挑戰，並且需要在 10-9 mbar 的壓力下工作，這增加了複雜性。標準真空兼容系統通常只能在高達 10-6 mbar 的條件下工作。
當 Riber 的工程師負責採購替換定位系統時，該公司轉向了 HepcoMotion® 及其尺寸 34 的真空軸承。事實證明，這些完整的不銹鋼產品在高達 10-6 mbar 的真空應用中取得了巨大成功。為了達到 Riber 要求的更高真空適用性，HepcoMotion® 在密封軸承內使用了特殊的真空潤滑脂。這使得產品能夠在更高的真空度下長時間運行，而不必擔心發生故障。
解決方案
HepcoMotion® 的解決方案取代了被證明不可靠的內部裝置，使 Riber 能夠在機構中沒有任何間隙的情況下設置系統預載。這最終大大提高了可重複性，並達到了前所未有的可靠性水平。
在晶圓傳輸操作中，行程長度可能會有所不同，但是，Riber 的標準解決方案需要平面 SL2 滑軌（SSM44 x 1000mm 長），將兩個 VACSS SJ34C 和兩個 VAC SSSJ34E 軸承安裝在特殊滑架上，並由齒條/小齒輪提供驅動解決方案。配置經過優化，為 Riber 提供了易於安裝的軟件包。
供貨範圍
Riber 現在經常使用基於 VAC SS SJ 34 C/E 的特殊軸承，結合不銹鋼無間隔滑塊 SS M 44，並安裝不銹鋼機架。
結果
Riber 現在擁有高度可靠的解決方案，使他們有機會改變摩擦阻力以適應應用負載並保持高精度。如果要在不銹鋼有效乾燥的情況下避免微動腐蝕，低摩擦系統至關重要。室內的任何污染都會影響工藝過程，導致晶圓損失。只有 HepcoMotion® V 形導軌能夠提供 Riber 滿足此專業應用所需的信心水平。
如今，Riber 設計辦公室正在進行其他開發，涉及其他 Hepco 產品，例如我們的環 PRT2。